廢水類型：超純水處理

項目示例：無錫恩歐凱超純水處理工程

設(shè)計水量：1m³/h

廢水危害：最近幾年超大規(guī)模集成電路的生產(chǎn)有了快速發(fā)展，對超純水的水質(zhì)提出了更高的要求，超純水中所含雜質(zhì)的允許含量越來越低，同時需要控制的雜質(zhì)種類也越來越多。為了有效去除各種雜質(zhì)，需要各種處理手段的綜合運用。

基本流程圖：

通常我們超純水系統(tǒng)分為三部分：預(yù)處理，初級處理和拋光精制處理。

1.預(yù)處理系統(tǒng)通常由過濾、殺菌和防氧化工藝組成；

2.初步處理系統(tǒng)主要由反滲透、離子交換器、膜脫氣、紫外設(shè)備等組成

3.精制處理部分通常包括TOCUv、拋光混床、膜脫氣以及終端超濾裝置。

超純水處理主要是采用預(yù)處理、反滲透技術(shù)、超純化處理以及后級處理等方法，將水中的導(dǎo)電介質(zhì)幾乎完全去除，又將水中不離解的膠體物質(zhì)、氣體及有機物均去除至很低程度的水處理