今天給大家介紹一下工業(yè)廢水處理工程工藝技術(shù)方法中半導(dǎo)體含氟廢水是如何產(chǎn)生的

半導(dǎo)體行業(yè)制造工藝龐雜，工藝步驟高達(dá)上百余步，同時(shí)運(yùn)用多種化學(xué)試劑和特別氣體。重要生產(chǎn)工序包含：硅片清洗、氧化÷分散、化學(xué)氣相沉積（CVD）、光刻、去膠、干法刻蝕（DE）、濕法侵蝕（ WE）、離子化、金屬化（濺射鍍膜PVD、電鍍銅）、化學(xué)機(jī)械拋光CMP檢測(cè)。其中刻蝕工序等運(yùn)用氫氟酸、氟化銨及用高純水清洗，這就是含氟廢水的起源。

含氟廢水，對(duì)人體的粘膜、上呼吸道眼睛、皮膚組織有極強(qiáng)的損壞作用。吸入后可因喉及支氣管的炎癥、水腫痙攣及化學(xué)性肺炎、肺氣腫而致逝世。中毒體現(xiàn)有燒灼感、咳嗽、喘息喉炎、氣短、頭痛惡心和嘔吐。所以處理好半導(dǎo)體行業(yè)中含氟廢水變得十分重要。

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【文章來(lái)源：工業(yè)廢水處理工藝方法】